產(chǎn)品性能：

 ◆4～8寸晶圓工藝，1～4/5管

 ◆恒溫區(qū)：800/1000/1250mm

 ◆溫度：200～1150℃

 ◆高精度可靠的自動壓力控制系統(tǒng)

 ◆自動機(jī)械手進(jìn)出舟，懸臂/軟著陸

 ◆晶圓自動倒片，完整的工廠MES系統(tǒng)對接，符合SECSⅡ/HSMS/GEM等標(biāo)準(zhǔn)

  配套工藝：

 ◆干濕氧化、擴(kuò)散、退火、合金激活，LP-POCl3擴(kuò)散，鎵鋁擴(kuò)散等

 ◆LP多晶硅P-Si，氮化硅Si3N4，氧化硅SiO2

 ◆LP磷硅玻璃PSG，硼磷硅玻璃BPSG

 ◆LP TEOS，LTO，HTO，SIPOS...

 ◆PE 氮化硅、氧化硅等。

◆氧化退火爐技術(shù)參數(shù)

 ◆干/濕氧氧化工藝

  工藝溫度范圍：750-1250℃(碳化硅管）

 ◆溫度均勻性≤±0.5℃@1250℃

 ◆溫度穩(wěn)定性≤±0.5℃/4h（800℃）；

 ◆干氧厚度均勻性（1000A）WIW ≤±2%，WTW ≤±2%，RTR ≤±2%；

 ◆氫氧合成厚度均勻性（1000A）WIW ≤±2%，WTW ≤±2%，RTR ≤±2%；

 ◆高溫退火：極限真空：＜50Pa

◆LPCVD部分性能

（1）最高工作溫度≥1150℃，溫度均勻性≤±0.5℃@1150℃；

（2）溫度穩(wěn)定性≤±0.5℃/4h（600℃）；

◆TEOS工藝參數(shù)

（1）TEOS均勻性：WIW ≤2% ，WTW ≤2%，RTR ≤2%；

（2）傳送顆粒污染≤30EA（≥0.3μm），工藝顆粒污染≤80EA（≥0.3μm），金屬離子污染Na、Mg、Al、K、Ca 、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu ≤ 1E11 atoms/cm2；

◆Poly工藝參數(shù)

（1）Poly厚度均勻性：WIW ≤±2% ，WTW ≤±2%，RTR ≤±2%；

（2）傳送顆粒污染≤30EA（≥0.3μm），工藝顆粒污染≤60EA（≥0.3μm），金屬離子污染Na、Mg、Al、K、Ca 、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu ≤ 1E11 atoms/cm2；

（3）D-Poly 50片/管，厚度均勻性：WIW ≤±5% ，WTW ≤±5%，RTR ≤±5%;

◆LPCVD-Si3N4工藝參數(shù)

（1）LPCVD-Si3N4厚度均勻性（片內(nèi)、片間、批次間）≤2%

（2）傳送顆粒污染≤30EA（≥0.3μm），工藝顆粒污染≤60EA（≥0.3μm）；金屬離子污染Na、Mg、Al、K、Ca 、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu ≤1E11 atoms/cm2；

（3）低應(yīng)力 ≤500MPa  5片/管；低應(yīng)力SiNx均勻性：WIW ≤±4% ，WTW ≤±3%，RTR ≤±3%；

◆LPCVD-BPSG工藝指標(biāo)

(1)厚度均勻性：WIW ≤±5% ，WTW ≤±5%，RTR ≤±5%；

(2)傳送顆粒污染≤30EA（≥0.3μm），工藝顆粒污染≤80EA（≥0.3μm），金屬離子污染Na、Mg、Al、K、Ca 、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu ≤1E11 atoms/cm2；

◆溫度控制要求：

(1)溫度控制方式：三段內(nèi)外TC雙回路溫度控制，自動拉溫區(qū)；

(2)熱偶：每管配置profile熱偶≥ 1個；spike熱偶≥4個（含報警熱偶）

(3)溫度控制范圍：600℃～900℃；

(4)恒溫區(qū)長度≥800mm；

(5)單點(diǎn)控溫精度：≤±1℃（600℃）；

◆工藝氣路要求：

(1)TEOS管：包含但不限于N2 ，O2，吹掃N2 ，TEOS；

(2)Poly管：包含但不限于N2 , SiH4,  PH3；

(3)Si3N4管：包含但不限于N2，NH3，SiH2Cl2；

(4)BPSG管：包含但不限于N2，O2，吹掃N2，B源，P源；

(5)氣路系統(tǒng)氣密性：1×10-7pa.m3/s，氣體管道為EP級；

(6)MFC控制精度：MFC精度≤±0.25% FS @ flow range 2%-25%≤±1% SP @ flow range 25%-100%；

◆壓力控制要求：

(1)壓力控制精度：≤±2 mtorr；

(2)極限真空：≤7.5mtorr；

(3)工藝腔漏率：≤5mtorr/min；

◆傳動裝置要求：

(1)傳動裝置采用懸臂槳方式，懸臂槳為帶涂層SiC材質(zhì)，承重≥16kg；

(2)前、后限位開關(guān)、極限位開關(guān)保護(hù)；

(3)伺服電機(jī)控制進(jìn)退，進(jìn)、出舟速率20-800mm/min，推舟的定位精度≤±1mm；

(4)配置1套導(dǎo)片裝置；

◆傳動裝置要求：

(1)傳動裝置采用懸臂槳方式，懸臂槳為帶涂層SiC材質(zhì)，承重≥16kg；

(2)前、后限位開關(guān)、極限位開關(guān)保護(hù)；

(3)伺服電機(jī)控制進(jìn)退，保證送料裝置平穩(wěn)運(yùn)行,進(jìn)、出舟速率：20-800mm/min,推舟的定位精度：≤±1mm；

(4)配置1套導(dǎo)片裝置；