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?水平HVPE設(shè)備用于在藍(lán)寶石、碳化硅等襯底上外延生長GaN薄膜、Ga2O3薄膜、厚膜及晶體生長,及AlN等外延生長。
垂直HVPE設(shè)備用于在藍(lán)寶石、碳化硅等襯底上外延生長GaN薄膜、Ga2O3薄膜、厚膜及晶體生長,及AlN等外延生長。
主要用于2-6英吋AlN晶體生長
高溫電阻/感應(yīng)加熱器,優(yōu)化熱場設(shè)計,多溫區(qū)石墨坩堝,升降,提拉,等徑控制等。
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