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系統(tǒng)介紹:
◆全自動化生產設備
◆自動上下裝卸料
◆物料無人搬運,自動輸送帶傳遞
◆完整的工廠MES系統(tǒng)對接,標準通信系統(tǒng),符合SECSⅡ/HSMS/GEM等標準
系統(tǒng)應用:
◆半導體4-8吋水平氧化擴散、LPCVD的設備自動化生產線
◆功能材料/磁性材料的設備自動化生產線
◆太陽能電池片設備自動化生產線
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